1．加熱室：全SUS304或Inconel設計
2．使用溫度：600℃以下
3．使用空間：φ2200*H1100mm
4．極限真空度：1*10-3 Torr
5．使用電力：220V 50KW
6．控制方式：工業電腦+PLC
1．適用於半導體載盤烘烤、清潔
2．全金屬式熱區，確保加熱時的潔淨度，無交叉汙染問題
3．製程氣體流向控制
4．製程氣體預熱系統，確保與工件接觸時無溫差裂化之問題
5．製程配方儲存，全自動功能
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