天統科儀有限公司 提供德國廠牌UniTemp的各式 RTP真空爐 及其他設備，我們的使命是為客戶提供最高品質以便獲得可持續的競爭優勢，並具有高品質及完整的售後服務。我們還提供多種產品，歡迎參觀我們的網站了解更多產品資訊。如果您對我們產品有興趣，請隨時 聯繫我們 ，我們將儘快與您聯繫。
RTP真空退火爐
型號: RTP-100-HV (High Vacuum) Front loading
規格:
1. 晶片高達100毫米（4“）或100毫米x 100毫米基板尺寸
2. 易變換的石英玻璃工藝室蓋
3. 集成氣體入口和出口
4. 1質量流量控制器，5 NLM（=每分鐘標準升）的標準
5. 18紅外燈加熱（20千瓦）
6. 頂部和底部加熱
7. 真空外部泵系統（高達10exp-3毫巴，最多10exp-6毫巴）
8. SPS控制器
9. 乙太網路接口
10. 7” 觸控式螢幕
11. 最高溫度：1200 °C
12. 溫度控制：熱電偶
13. 電源：230V/3N/32A
14. 冷卻方式：水冷式
15. 材積：503 x 525 x 570 mm (W x D x H)
16. 重量：70kg
【廠牌： UNITEMP/德國 】
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