前開式快速熱處理爐
型號: RTP-150-HV (High Vacuum) Front loading
規格:
1. 石英玻璃室集成氣體入口和出口
2. 加熱方式：紅外線。總功率：21千瓦
3. 晶圓尺寸：156mm
4. 50組50段程式
5. 真空度：可達10exp.-36hPa
6. 最高溫度：1000℃
7. 傾斜上升率：最大75°K/秒
8. 減速率：T =1000°C至400°C以下。 最大200 K /分鐘
9. T =400℃至100℃以下。 最大30 K /分鐘
10. 冷卻系統：水冷式
11. 優良售後服務
12. 詳細規格可來信索取
13. 適合各實驗室及研究單位
【廠牌： UNITEMP/德國 】
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