快速熱處理爐
型號: VPO-1000-300 Top loading
規格:
1. 內部尺寸：350 x 350 x 50 mm
2. 加熱方式：紅外線。總功率：21千瓦
3. 頂部和底部加熱
4. 裝載區：320 x 320 x 50 mm
5. 內壁：室壁：鋁拋光，易清洗
6. 開啟方式：垂直打開式
7. 底部加熱：2 x 24 lamps crossed 21 kW
8. 晶圓尺寸：156mm
9. 控制器：快速PID溫度過程控制器
10. 7”觸控式螢幕
11. 50組50段程式
12. 1質量流量控制器，5 NLM（=每分鐘標準升）的標準
13. MP（隔膜泵）：10 hPa 。通過壓力計監視。
14. 電源：2×[CEE3×32 A /3〜+ N+ PE，230 V]。背面。
15. 真空接頭：KF16
16. 排氣： KF16後排
17. 氣體線：4毫米外徑 Swagelok 壓縮配件
18. 冷卻水供應為10mm的軟管
19. 導入元件：2 x DN 16
20. 材積：505 x 504 xx 780 mm (WxDxH)
21. 重量：100kg
【廠牌： UNITEMP/德國】
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